旋轉噴淋清洗是浸入式清洗的一種變體。該系統普通包括自動配液系統、清洗腔體和廢液回收系統。噴淋清洗在密閉的工作室內完成化學清洗、去離子水清洗、

旋轉自旋枯燥等工序，減少了清洗過程中每一步人為要素的影響。在噴淋清洗中，由于旋轉和噴淋的作用，硅片外表的溶液愈加平均，硅片外表的溶液總是新

穎的。經過工藝時間的設定，能夠準確控制硅片的清洗和腐蝕效果，到達良好的分歧性。密閉的工作室內能夠隔離化學溶液的揮發，減少溶液的損失，減少溶

液蒸汽對人體和環境的危害。該系統被貯存在不同的化學試劑中，并在運用時抵達噴嘴行進行混合，堅持其新穎，以更大限度地進步其在清洗過程中更快反響

時間的潛力。當氮氣被運用時，液體經過一個小噴嘴放射到硅片外表構成一層細霧，以到達更好的清洗目的。該辦法適用于去除氧化膜或有機物。由于化學物

質停留在硅片外表的時間較短，在一定時間內清洗反響是不好的。噴涂過程中化學試劑用量少，有利于本錢控制和環境維護。